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SIC拋光液
碳化硅作為第三代寬帶隙半導(dǎo)體材料的代表，在大功率、高溫、高壓、高頻電子器件領(lǐng)域和航天、軍工、核能等極端環(huán)境應(yīng)用領(lǐng)域有著不可替代的優(yōu)勢。新安納公司開發(fā)了碳化硅晶圓拋光液系列產(chǎn)品包括SC- S1，SC-S2，SC-A1，SC-C1等。

 

碳化硅粗拋光液       

優(yōu)點：1、拋光速率大于2.5μm/h。 2、拋光表面平整光滑，無明顯劃傷。3.壽命長

應(yīng)用：不同尺寸高純半絕緣體4H-SiC，N型4H-SiC等晶圓拋光。

 

 

碳化硅精拋液       

優(yōu)點：1、拋光表面質(zhì)量好，表面粗糙度Ra<0.15μm。2、去除效率高，拋光速率大于1μm/h。3、易清洗。

應(yīng)用：不同尺寸高純半絕緣體4H-SiC，N型4H-SiC等晶圓精拋。